据媒体报道，阿斯麦的研究人员表示，他们已找到一种方法，可以大幅提升关键芯片制造机器的光源功率，从而在2030年前将芯片产量提高多达50%。ASML负责EUV光源的首席技术专家Michael Purvis表示：这不是一种噱头，或者只是短时间展示它可行的技术演示。这是一个可以在客户实际使用条件下持续输出1000瓦功率的系统。