璞璘科技纳米压印设备交付客户PL-SR 系列喷墨步进式纳米压印设备，可支持线宽小于10nm的纳米压印光刻工艺

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佳能向美国客户交付首套纳米压印设备型号 FPA -1200NZ2C ，精度14nm 线宽（相当于5nm制程节点） https://cn.nikkei.com/~ https://global.canon/~

璞璘科技纳米压印设备交付客户

PL-SR 系列喷墨步进式纳米压印设备，可支持线宽小于10nm的纳米压印光刻工艺。这一技术指标已超越国际巨头佳能同类产品FPA-1200NZ2C（支持14nm线宽）的水平。