ASML 计划2030年推出 Hyper-NA EUV 设备，单台价格高达7.2亿美元台积电可能会使用现有EUV设备实现1.6纳米技术三星也在考虑High-NA设备的采用时机，可能会直接跳过High-NA EUV，转向Hyper-NA系统，尽管这存在一定的风险

每日消费电子观察

ASML 正在开发 Hyper-NA EUV 光刻机 https://www.cnbeta.com.tw/articles/tech/1431859.htm Van den Brink进一步强调了Hyper-NA EUV工具的重要性，指出它能够简化复杂的双重图案工艺，降低生产难度。他解释说，这种高分辨率工具的可用性对于半导体制造行业至关重要。 ——— ASML 正在规划 0.77 NA 的 EUV 光刻机 https://www.cnbeta.com.tw/articles/tech/1432027.htm…

ASML 计划2030年推出 Hyper-NA EUV 设备，单台价格高达7.2亿美元

台积电可能会使用现有EUV设备实现1.6纳米技术

三星也在考虑High-NA设备的采用时机，可能会直接跳过High-NA EUV，转向Hyper-NA系统，尽管这存在一定的风险。
https://www.fromgeek.com/chip/1249-644244.html

Fromgeek

ASML计划2030年推出Hyper-NA EUV设备单台价格高达7.2亿美元_极客网

目前，一台EUV设备的价格约为1.8亿美元，而新型High-NA EUV设备的成本更是高达3.6亿美元。预计Hyper-NA EUV设备的价格将超过7.2亿美元。