ASML 着眼未来：考虑推出通用 EUV 光刻平台，覆盖不同数值孔径

https://www.ithome.com/0/770/025.htm

此外，ASML 还计划将其 DUV 和 EUV 光刻机的晶圆吞吐量从目前的每小时 200~300 片增加到每小时 400~500 片，从而提升单台光刻机的生产效率，在另一个侧面降低行业成本。