Intel 完成首台商用 High-NA EUV 光刻机组装
预计在多项校准工作完成后，将于2027年正式启用，应用于 Intel 18A 之后的 14A 制程技术。
https://www.cool3c.com/article/214242
校准比组装花更多时间
预计在多项校准工作完成后，将于2027年正式启用，应用于 Intel 18A 之后的 14A 制程技术。
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Intel 完成首台商用高數值孔徑 EUV 微影設備組裝 - Cool3c
Mash Yang發佈Intel 完成首台商用高數值孔徑 EUV 微影設備組裝，留言0篇於2025-05-21 01:42：Intel 完成組裝業界首台商用高數值孔徑極紫外光微影設備，由ASML供應，將應用於 Intel 18A 之後的 14A 製程技術，有望在 2027 年正式啟用。 Intel宣...
