每日消费电子观察

上海微电子披露：2021-2022 年交付第一台 28nm 工艺国产沉浸式光刻机

上海微电子据报成功研制出中国首台28纳米光刻机

https://www.zaobao.com/realtime/china/story20231220-1457226

不过，张江集团之后对文章进行了修改，目前的文章中拿掉了关于28纳米的表述，改为：“作为国内唯一一家掌握光刻机技术的企业，上海微电子致力研制先进的光刻机。”