每日消费电子观察
12:50 · Oct 14, 2023 · Sat
非光刻方案,佳能开始销售 5nm 芯片生产设备
https://www.ithome.com/0/724/881.htm
Ithome
非光刻方案,佳能开始销售 5nm 芯片生产设备 - IT之家
佳能(Canon)公司近日发布新闻稿开始销售芯片生产设备,表示采用不同于复杂光刻技术的方案,可以制造 5 nm 芯片。佳能表示这套生产设备的工作原理和行业领导者 ASML 不同,并非光刻,而更类似于印刷,没有利用图像投影的原理将集成电路的微观结构转移到硅晶圆上。
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