这项新技术可以在短短 33 分钟内完成 10 微米深度的高纵横比（IT之家备注：纵横比是指晶圆上形成图案的深度与宽度之比）蚀刻，与此前的技术相比耗时大幅缩短。TEL 介绍，该技术能够将生产工艺中给全球变暖造成的风险减少 84%。