据semiwiki日前的报道，截至2022年第一季度，ASML已出货136个EUV系统，约曝光7000万个晶圆已曝光（如下图）。台积电在早前的技术大会上则表示，在全球已经安装的EUV光刻机系统中，台积电拥有了其中的55%。三星的实际控制人李在镕日前则拜访了荷兰总统，以寻找更多的EUV供应。