据国外媒体报道，半导体行业光刻系统供应商ASML（阿斯麦）去年交付了26台极紫外光刻机（EUV），调查公司Omdia表示，其中约一半面向大客户台积电。ASML此前公布，2019年，共向客户交付了26台极紫外光刻机。其中，在第四季度交付了8台。ASML还透露，去年交付的26台极紫外光刻机中，有9台是最新型号，即NXE:3400C。